UPS (자외선 광전자 분광법)
1. 개요
1. 개요
자외선 광전자 분광법은 자외선 영역의 광자를 시료에 조사하여 방출되는 광전자의 운동 에너지를 측정하는 표면 분석 기법이다. 이 기법은 주로 물질의 원자가대 전자 구조를 연구하는 데 활용된다.
UPS는 광전 효과를 기본 원리로 한다. 자외선 광자가 시료 표면에 조사되면, 원자가대의 전자가 에너지를 흡수하여 진공 준위 이상의 에너지를 얻어 시료 외부로 방출된다. 방출된 광전자의 운동 에너지를 정밀하게 분석함으로써, 시료의 일함수, 원자가대 구조, 분자 오비탈 에너지 준위 등의 정보를 얻을 수 있다.
이 기술은 표면 과학, 재료 과학, 화학, 나노 과학 등 다양한 분야에서 중요한 분석 도구로 사용된다. 특히 반도체 소재의 에너지 준위 매핑, 촉매 표면의 화학 흡착 연구, 유기 전자 소자의 에너지 준위 정렬 분석 등에 널리 응용된다.
UPS 실험을 위해서는 자외선 광원, 에너지 분석기, 진공 챔버, 시료 홀더 등이 주요 구성 요소로 필요하다. 고진공 환경에서 실험이 이루어지며, 이를 통해 표면 오염을 최소화하고 정확한 측정 결과를 얻을 수 있다.
2. 원리
2. 원리
2.1. 광전 효과
2.1. 광전 효과
UPS의 핵심 원리는 광전 효과에 기반한다. 자외선 영역의 광자가 시료 표면에 조사되면, 광자는 원자가대에 있는 전자에 에너지를 전달한다. 전자가 이 에너지를 흡수하여 일함수를 넘어서면, 전자는 시료로부터 방출되어 광전자가 된다.
방출된 광전자의 운동 에너지는 광자의 에너지에서 전자가 원래 위치했던 에너지 준위의 결합 에너지와 일함수를 뺀 값과 같다. UPS는 주로 헬륨 가스 방전램프에서 나오는 He I (21.2 eV) 또는 He II (40.8 eV) 선과 같은 단색성 자외선을 광원으로 사용한다. 이 비교적 낮은 에너지의 광자는 시료 내부의 깊은 내부 전자를 방출시키기에는 부족하지만, 원자가대나 분자 오비탈과 같이 결합 에너지가 낮은 전자들을 선택적으로 방출시키는 데 매우 적합하다.
따라서 UPS는 X선 광전자 분광법(XPS)이 주로 원소의 종류와 화학 상태를 분석하는 데 비해, 원자가대의 미세한 전자 구조, 즉 에너지 밴드의 모양, 상태 밀도, 페르미 준위의 위치 등을 정밀하게 측정하는 데 특화되어 있다. 이 과정은 진공 환경에서 이루어져야 하며, 방출된 광전자의 운동 에너지는 에너지 분석기를 통해 정밀하게 측정된다.
2.2. 에너지 준위와 결합 에너지
2.2. 에너지 준위와 결합 에너지
UPS의 핵심 원리는 광전 효과를 통해 물질 내 전자의 결합 에너지를 측정하는 데 있다. 자외선 광자가 시료에 조사되면, 그 에너지가 원자가대의 전자에 흡수되어 전자가 물질 밖으로 방출된다. 이때 방출된 광전자의 운동 에너지는 입사한 광자의 에너지에서 전자가 원래 속해 있던 에너지 준위의 결합 에너지를 뺀 값과 같다. 따라서 광전자의 운동 에너지를 정밀하게 측정하면, 전자가 물질 내에서 점유하고 있던 에너지 준위, 즉 결합 에너지 분포를 역으로 계산해낼 수 있다.
UPS는 특히 페르미 준위 근처의 원자가대 전자 구조를 분석하는 데 특화되어 있다. 자외선 광원(예: 헬륨 I, II 방전 램프)의 에너지는 일반적으로 21.2 eV 또는 40.8 eV 수준으로, 이는 내부 전자를 방출시키기에는 부족하지만, 원자가대의 느슨하게 결합된 전자를 방출시키기에는 충분하다. 이로 인해 UPS는 물질의 일함수, 원자가대 구조, 분자 오비탈의 에너지 분포, 그리고 표면 상태와 같은 미세한 전자 구조 정보를 매우 높은 에너지 분해능으로 제공할 수 있다.
에너지 준위와 결합 에너지 정보는 밴드 구조를 이해하는 데 필수적이다. UPS 스펙트럼에서 피크의 위치는 특정 에너지 준위에 해당하며, 피크의 모양과 강도는 해당 상태의 전자 상태 밀도 및 광전자 방출 확률과 관련이 있다. 또한, 페르미 준위를 기준으로 한 결합 에너지 측정은 반도체의 가전자대와 전도대 간 밴드 갭 정보나 금속의 페르미 에지를 직접 관찰하는 데 활용된다.
3. 장치 구성
3. 장치 구성
3.1. 광원
3.1. 광원
UPS에서 사용되는 광원은 일반적으로 헬륨 방전 램프이다. 특히 헬륨 가스를 이용한 방전에서 발생하는 He I (21.22 eV)와 He II (40.8 eV) 선 스펙트럼이 가장 널리 사용된다. 이 자외선은 광전 효과를 일으켜 시료의 원자가대에서 전자를 방출시키기에 적합한 에너지를 가진다.
광원 시스템은 고진공 환경을 유지해야 하며, 방출된 광자의 에너지가 단색이고 안정적이어야 정밀한 측정이 가능하다. 이를 위해 단색화 장치가 함께 사용되거나, 싱크로트론과 같은 대형 시설에서 제공되는 조정 가능한 자외선 광원을 활용하기도 한다. 진공 챔버 내부로 자외선을 효율적으로 도입하기 위한 광학 창이나 자외선 투과체가 중요한 구성 요소로 작용한다.
UPS 실험의 정확도와 분해능은 광원의 에너지 안정성과 단색성에 크게 의존한다. 따라서 광원의 출력과 에너지 폭을 정밀하게 제어하는 것이 필수적이다. 최근에는 레이저 기반의 고휘도 자외선 광원도 개발되어, 더 높은 공간 분해능이나 시간 분해능을 요구하는 연구에 적용되고 있다.
3.2. 에너지 분석기
3.2. 에너지 분석기
UPS에서 에너지 분석기는 방출된 광전자의 운동 에너지를 정밀하게 측정하는 핵심 장치이다. 이 분석기는 시료 표면에서 방출된 전자들의 에너지 분포를 분석하여, 원자가대의 전자 구조와 일함수 등의 정보를 제공한다. 분석기의 성능은 에너지 분해능에 크게 의존하며, 이는 최종 스펙트럼의 질을 결정짓는 중요한 요소이다.
가장 일반적으로 사용되는 에너지 분석기는 헤미스피컬 분석기이다. 이 분석기는 두 개의 동심구형 전극 사이에 전위차를 가해 전자 궤적을 제어한다. 특정 에너지를 가진 전자만이 통과할 수 있는 에너지 통과대를 형성하며, 전극에 인가되는 전압을 스캔함으로써 다양한 에너지의 전자들을 순차적으로 검출한다. 이 외에도 사이클로이드 분석기나 자기병 분석기 등 다른 원리의 분석기도 특정 응용 분야에서 사용된다.
에너지 분석기는 고진공 환경에서 작동해야 한다. 대기 중의 분자와의 충돌을 방지하여 전자의 평균 자유 행정을 보장하고, 시료 표면의 오염을 최소화하기 위함이다. 분석기의 내부는 일반적으로 10^-8 Pa 수준의 초고진공으로 유지된다. 또한, 분석기 입구에는 전자 광학 렌즈 시스템이 장착되어 시료에서 방출된 전자를 수집하고 분석기 입구로 효율적으로 집속하는 역할을 한다.
3.3. 시료 챔버
3.3. 시료 챔버
UPS 분석의 핵심 구성 요소 중 하나인 시료 챔버는 실험 환경을 극도로 통제하는 진공 용기이다. 이 챔버는 일반적으로 고진공 또는 초고진공 상태로 유지되며, 그 주된 목적은 시료 표면의 오염을 방지하고 방출된 광전자의 평균 자유 행정을 확보하는 데 있다. 대기 중의 기체 분자와 충돌 없이 에너지 분석기까지 도달할 수 있도록 하기 위해서는 충분히 높은 진공도가 필수적이다. 또한, 시료를 도입하고 위치를 조정하며, 필요한 경우 표면을 세정(예: 이온 스퍼터링)할 수 있는 다양한 포트와 장치가 챔버에 연결되어 있다.
시료 챔버 내부에는 정밀한 시료 홀더와 조작기가 설치되어 있다. 시료 홀더는 분석 대상인 시료를 고정하고, 필요에 따라 시료의 온도를 극저온에서 고온까지 정밀하게 제어하거나 회전, 틸팅 등의 운동을 가능하게 한다. 이를 통해 시료의 서로 다른 결정면을 분석하거나 각도 분해능 측정을 수행할 수 있다. 시료는 일반적으로 로드락 시스템을 통해 대기 환경에서 챔버 내부로 안전하게 이동된 후, 분석 위치로 정확히 배치된다.
고품질의 UPS 데이터를 얻기 위해서는 시료 표면이 원자 수준으로 깨끗해야 한다. 따라서 많은 시료 챔버 시스템에는 이온 건이나 이온 스퍼터링 장치가 통합되어 있어, 아르곤 이온 등을 이용해 시료 표면을 박리하여 오염물질을 제거할 수 있다. 또한, 시료 표면에 흡착된 물 분자나 기타 휘발성 물질을 제거하기 위해 챔버에 내장된 베이크아웃 시스템을 이용해 전체 챔버를 가열하기도 한다. 이러한 표면 준비 과정은 특히 표면 과학 연구에서 매우 중요하다.
3.4. 검출 시스템
3.4. 검출 시스템
검출 시스템은 자외선 광전자 분광법에서 에너지 분석기를 통과한 광전자를 포착하고 그 신호를 측정하는 최종 단계의 장치이다. 이 시스템은 매우 약한 전자 신호를 정확하게 검출하고 증폭하여 분석 가능한 데이터로 변환하는 역할을 담당한다. 일반적으로 채널트론이나 마이크로채널 플레이트와 같은 전자 증배관이 핵심 구성 요소로 사용된다. 이러한 검출기는 입사하는 단일 전자에 의해 유발되는 2차 전자의 폭주 현상을 이용하여 신호를 크게 증폭시킨다.
검출된 신호는 이후 펄스 계수기나 전류 측정기와 같은 전자 회로를 통해 처리된다. 펄스 계수 방식은 각각의 광전자를 개별적인 펄스로 세어 노이즈를 줄이고 신호 대 잡음비를 향상시키는 데 유리하다. 처리된 데이터는 컴퓨터 시스템으로 전송되어 광전자 스펙트럼으로 변환되며, 이 스펙트럼은 피크의 위치와 형태를 통해 시료의 일함수나 원자가대 구조와 같은 정보를 제공한다. 검출 시스템의 감도와 분해능은 전체 자외선 광전자 분광법 장치의 성능을 결정하는 중요한 요소이다.
4. 특징 및 장단점
4. 특징 및 장단점
4.1. 장점
4.1. 장점
UPS는 자외선 영역의 광원을 사용한다는 점에서 몇 가지 뚜렷한 장점을 가진다. 첫째, 자외선의 에너지가 상대적으로 낮기 때문에 주로 원자가대의 전자를 방출시켜, 화학 결합이나 분자 오비탈과 관련된 전자 구조 정보를 매우 민감하게 얻을 수 있다. 이는 재료 과학에서 물질의 전기적 성질이나 표면 반응성을 이해하는 데 핵심적이다.
둘째, 자외선 광원, 특히 헬륨 방전관에서 나오는 He I, He II 선은 매우 좁은 선폭을 가지므로 높은 에너지 분해능을 제공한다. 이는 에너지 준위의 미세한 차이를 정밀하게 측정할 수 있게 하여, 일함수를 정확하게 측정하거나 밴드 구조의 세부적인 모양을 연구하는 데 유리하다.
셋째, 분석 깊이가 매우 얕아 표면에 민감한 분석이 가능하다는 점이다. 자외선에 의해 방출되는 광전자의 평균 자유 행정이 매우 짧기 때문에, 실제로 시료 표면으로부터 수 나노미터 이내의 정보만을 주로 반영한다. 이는 표면 과학 연구나 박막 물질, 촉매 표면의 전자 상태를 분석하는 데 큰 강점이 된다.
마지막으로, 장비 구성이 X선 광전자 분광법(XPS)에 비해 상대적으로 간단하고, 특히 가스 방전형 자외선 광원은 운용 비용이 낮고 안정적이다. 이는 실험실에서 표면 분석을 위한 일상적인 도구로 활용되기에 유리한 조건을 제공한다.
4.2. 단점 및 한계
4.2. 단점 및 한계
UPS는 표면 민감도가 높고 원자가대 전자 구조를 고해상도로 분석할 수 있는 장점이 있지만, 몇 가지 명확한 단점과 한계를 지닌다. 가장 큰 한계는 분석 깊이가 매우 얕다는 점이다. 자외선의 낮은 투과 깊이로 인해 실제로 분석되는 정보는 표면에서 수 나노미터 이내의 극표면에 국한된다. 이는 내부 벌크 물질의 정보를 직접적으로 제공하지 못함을 의미하며, 시료 표면의 오염이나 산화층이 분석 결과에 큰 영향을 미칠 수 있다. 또한, 사용되는 헬륨 I/II 라인과 같은 자외선 광원의 에너지가 상대적으로 낮아(보통 21.2 eV 또는 40.8 eV), 내부 전자 준위나 높은 결합 에너지를 가진 깊은 준위의 전자를 방출시키기 어렵다. 따라서 UPS는 주로 원자가대 분석에 특화되어 있으며, 핵심 준위에 대한 정보는 X선 광전자 분광법(XPS)과 같은 다른 기술에 의존해야 한다.
다른 한계로는 정량 분석 능력의 부족을 들 수 있다. UPS 스펙트럼의 피크 강도는 광전자 수율과 광전 효과의 단면적 등 여러 요인에 복잡하게 의존하여 절대적인 농도 값을 도출하기 어렵다. 이는 주로 정성적 분석이나 상대적인 에너지 준위 비교에 사용됨을 의미한다. 또한, 실험 환경에 대한 요구 조건이 까다롭다. 고감도의 전자 검출을 위해 고진공(심지어 초고진공) 환경이 필수적이며, 이는 시료 준비와 장치 운영을 복잡하게 하고 비용을 증가시킨다. 전기 전도도가 낮은 절연체 시료의 경우 표면에 전하 축적이 발생하여 스펙트럼을 왜곡시키는 문제도 흔히 발생한다.
마지막으로, UPS는 공간 분해능을 제공하지 않는다. 일반적인 UPS 장치는 시료의 비교적 넓은 영역(수 밀리미터)에서 평균된 정보를 수집하므로, 미세한 영역의 국소적 전자 구조나 나노 구조의 특성을 분석하기에는 부적합하다. 이러한 공간적 정보가 필요한 경우에는 주사 터널링 현미경(STM)이나 근접장 광학 현미경(NSOM)과 같은 다른 기술과의 연계가 필요하다. 요약하면, UPS는 표면 전자 구조 연구에 강력한 도구이지만, 그 적용 범위는 분석 깊이, 에너지 범위, 정량성, 공간 분해능 등의 측면에서 제한적이다.
5. 응용 분야
5. 응용 분야
5.1. 표면 분석
5.1. 표면 분석
UPS는 표면에 민감한 분석 기법으로, 시료 표면으로부터 수 나노미터 이내의 얕은 깊이에서 방출되는 광전자만을 검출한다. 이는 자외선 광자의 낮은 투과 깊이와 광전자의 짧은 비평균 자유 경로 덕분이다. 따라서 UPS는 표면 과학 연구에서 표면 상태, 흡착 분자의 전자 구조, 계면의 전자적 특성을 분석하는 데 매우 효과적이다.
특히 촉매 표면에서의 반응물 흡착 연구나 반도체 소자의 계면 특성 분석에 널리 활용된다. UPS를 통해 표면의 일함수를 정밀하게 측정할 수 있으며, 이는 전자 공학 소자의 금속-반도체 접합이나 유기 발광 다이오드의 에너지 준위 정렬을 이해하는 데 필수적인 정보를 제공한다.
5.2. 화학 상태 분석
5.2. 화학 상태 분석
UPS는 화학 결합의 특성과 원소의 산화 상태를 파악하는 데 유용한 정보를 제공한다. 이 기법은 원자가대의 전자 구조를 매우 높은 에너지 분해능으로 분석할 수 있어, 분자 오비탈의 에너지 준위와 결합 특성을 직접적으로 관찰할 수 있다. 특히 유기 반도체, 촉매 표면, 흡착 분자와 같은 재료에서 특정 원자의 화학적 환경이 전자 구조에 미치는 미세한 변화를 감지하는 데 탁월하다.
예를 들어, 금속 표면에 흡착된 일산화탄소 분자의 UPS 스펙트럼은 분자의 5σ 및 2π* 오비탈에 해당하는 피크를 보여주며, 이 피크들의 위치와 모양은 금속과의 결합 세기 및 흡착 구조에 대한 정보를 준다. 또한 폴리머나 자기조립단분자막과 같은 유기 물질에서도 특정 작용기의 존재가 원자가대 스펙트럼의 특징적인 피크로 나타나, 표면 화학을 분석하는 데 활용된다.
이러한 화학 상태 분석은 X선 광전자 분광법과 상호 보완적으로 사용된다. XPS는 내부 전자를 주로 분석하여 원소의 정성 및 정량 분석과 화학적 이동을 측정하는 반면, UPS는 원자가대 전자에 집중하여 일함수, 전자 친화도, 밴드 갭과 같은 전자 구조의 기본적 특성을 더 정밀하게 규명한다. 따라서 두 기법을 함께 사용하면 물질의 전자적, 화학적 특성에 대한 포괄적인 이해를 얻을 수 있다.
5.3. 밴드 구조 연구
5.3. 밴드 구조 연구
UPS는 원자가대의 전자 구조를 직접적으로 조사할 수 있어, 고체 물리학 및 재료 과학에서 밴드 구조 연구에 핵심적인 도구로 활용된다. 이 기법은 헬륨 I (21.2 eV) 또는 헬륨 II (40.8 eV)와 같은 단색 자외선을 시료에 조사하여, 원자가대에서 방출된 광전자의 운동 에너지 분포를 정밀하게 측정한다. 이렇게 얻은 광전자 스펙트럼은 에너지 준위의 밀도와 분포를 보여주며, 이를 통해 금속, 반도체, 절연체의 페르미 준위 위치, 밴드 갭, 그리고 전자의 에너지 대역 구조를 실험적으로 결정할 수 있다.
특히 각도 분해 광전자 분광법(ARPES)은 UPS의 중요한 발전 형태로, 방출된 광전자의 운동 에너지뿐만 아니라 방출 각도까지 동시에 분석한다. 이를 통해 에너지와 파수 벡터(k-벡터) 사이의 관계, 즉 에너지 분산 관계를 직접적으로 매핑할 수 있어, 밴드 구조를 3차원 공간에서 시각화하는 데 결정적인 역할을 한다. 이는 초전도체, 위상 절연체, 2차원 물질과 같은 신물질의 독특한 전자 구조를 규명하는 데 필수적이다.
이러한 연구는 반도체 소자의 성능 최적화, 촉매의 표면 반응 메커니즘 이해, 신소재 개발 등 다양한 응용 연구의 기초를 제공한다. UPS는 X선 광전자 분광법(XPS)이 주로 깊은 내부 전자 준위와 화학 상태를 분석하는 반면, 표면 근처의 얕은 원자가대 전자 구조를 고에너지 분해능으로 살펴본다는 점에서 차별화된 정보를 얻을 수 있다.
6. 관련 기술 및 비교
6. 관련 기술 및 비교
6.1. XPS와의 비교
6.1. XPS와의 비교
UPS는 자외선을 광원으로 사용하는 반면, X선 광전자 분광법(XPS)은 X선을 사용한다. 이 차이는 두 기법의 분석 깊이와 정보의 특성에 직접적인 영향을 미친다. UPS는 주로 원자가대의 전자 구조를 분석하는 데 특화되어 있어, 일함수 측정이나 분자 오비탈 연구에 적합하다. 반면 XPS는 더 높은 에너지의 X선을 사용하여 내부 궤도 전자까지 방출시킬 수 있어, 원소의 종류와 그 화학 결합 상태를 정량적으로 분석하는 데 강점을 보인다.
분석 깊이 측면에서 UPS는 매우 얕은 표면(약 1 nm 이내)의 정보를 주로 제공한다. 이는 자외선 광자의 낮은 투과 깊이와 표면 근처의 원자가대 전자에 대한 높은 민감도 때문이다. 따라서 UPS는 표면 과학 연구에서 계면의 전자적 특성을 조사하는 데 필수적인 도구로 자리 잡았다. XPS도 표면 분석 기법이지만, UPS에 비해 상대적으로 더 깊은 영역(일반적으로 10 nm 내외)까지 정보를 얻을 수 있어, 표면뿐만 아니라 얇은 박막의 체적(bulk) 정보도 일부 포함할 수 있다.
비교 항목 | UPS (자외선 광전자 분광법) | XPS (X선 광전자 분광법) |
|---|---|---|
사용 광원 | 자외선 (헬륨 I, 헬륨 II 램프 등) | X선 (알루미늄 Kα, 마그네슘 Kα 등) |
주요 분석 대상 | 원자가대 전자 | 내부 궤도 전자 (핵심 준위) |
주요 응용 | 일함수 측정, 원자가대/밴드 구조 분석, 분자 오비탈 연구 | 원소 분석, 원소의 화학 상태(산화 상태 등) 분석, 정량 분석 |
분석 깊이 | 매우 얕은 표면 (~1 nm) | 표면 및 얕은 체적 (~10 nm) |
에너지 분해능 | 일반적으로 매우 높음 (수 meV ~ 수십 meV) | XPS에 비해 상대적으로 낮음 (수백 meV) |
결론적으로, UPS와 XPS는 상호 보완적인 관계에 있다. UPS는 표면의 세밀한 전자 구조와 일함수 같은 정보를 제공하는 반면, XPS는 원소의 정성·정량 분석 및 화학 상태 식별에 강점이 있다. 따라서 재료 과학이나 나노 과학 연구에서는 시료의 포괄적인 특성 분석을 위해 두 기법을 함께 활용하는 경우가 많다.
6.2. ARPES
6.2. ARPES
ARPES는 각기분해 광전자 분광법(Angle-Resolved Photoelectron Spectroscopy)의 약자로, 방출된 광전자의 운동 에너지뿐만 아니라 그 방향(각도)까지 동시에 측정하는 고급 광전자 분광 기법이다. 기존의 UPS가 주로 전자 에너지 분포만을 제공하는 반면, ARPES는 전자의 운동량 정보까지 얻을 수 있어, 물질의 에너지 밴드 구조를 직접적으로 3차원 공간에서 매핑할 수 있는 강력한 도구로 평가받는다. 이 기술은 고체물리학과 재료과학 분야에서 전자구조를 연구하는 핵심 실험 방법 중 하나이다.
ARPES의 실험 구성은 기본적인 UPS와 유사하게 진공 챔버, 자외선 광원, 에너지 분석기를 포함하지만, 분석기에 특수한 각도 수집 장치가 추가되거나 2차원 검출기를 사용한다. 시료에 단색 자외선을 조사하여 방출된 광전자는 에너지 분석기 내에서 특정 각도로 입사되도록 조정되고, 이를 통해 특정 운동량에 해당하는 전자의 에너지를 정밀하게 측정한다. 이 과정을 다양한 각도에 대해 반복하거나 넓은 각도 범위를 한 번에 촬영함으로써, 에너지 대 운동량 관계인 분산 관계를 실험적으로 도출할 수 있다.
이 기법의 가장 큰 장점은 금속, 반도체, 초전도체 등의 페르미 준위 근처 원자가대 및 전도대의 정확한 모양, 즉 밴드 구조를 직접 '보는' 것이 가능하다는 점이다. 이를 통해 전자 유효 질량, 페르미 속도, 밴드 갭의 크기와 종류 등을 정량적으로 결정할 수 있다. 특히 고온초전도체나 토폴로지 절연체와 같은 신물질의 독특한 전자적 성질을 규명하는 데 결정적인 역할을 해왔다.
ARPES는 매우 높은 각도와 에너지 분해능을 요구하기 때문에 실험 난이도가 높고, 분석을 위해서는 깊은 이론적 이해가 필요하다는 한계가 있다. 또한 측정 깊이가 수 옹스트롬 수준으로 매우 얕아 극도로 깨끗한 표면을 필요로 하며, 대기 중의 분자와 반응하기 쉬운 시료의 분석에는 어려움이 따른다. 이러한 한계에도 불구하고, 물질의 전자 구조를 가장 직접적으로 규명할 수 있는 실험 기술로서 그 가치는 매우 크다.
